金刚石线切割设备

金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。

目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。锯切是硬脆材料机械加工的一道工序，锯切加工成本约占加工总成本的50％以上，因此，切割工艺、工具及设备受到越来越广泛的关注，并得到迅速发展。

?多线切割机

多线切割机优点是：

1.能进行大尺寸工件切片；

2.能多件多片同时切割，产量高；

3.能切精密窄缝，适合切割贵重材料，切割直径只比锯丝直径大0.01——0.015mm；

4.切割脆软材料，保证边缘不破损；

5.切割时温度低，切片加工变质层浅，可用来切割易炸裂材料；

6.环境污染小。

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高速切割设备

切割行程的设置：

切割行程=样品的长度+5mm。为保证将样品切断，通常会在样品的实际高度之上增加5㎜。当要求对样品进行开槽时，实际切割行程应与开槽深度相同，为保证停止切割时所开槽口深度达到要求，当切割行程达到设定行程时应暂停切割，但主轴带动金刚石切割线继续运行一段时间，从而使样品未达到切割深度的位置继续被切割，直到样品被切割部位每一点都达到所要求的切割深度。要求配备不同的转速和进给速度以及自动化程度和各种工装夹具的设计等等。